透過電子顕微鏡観察試料(材料系)のクリーニング ジェントルミル 集束イオンビーム装置 極低エネルギーによる加工/日本フィジテック


GENTLEMILL(ジェントルミル)はTECHNOORG-LINDA社(ハンガリー)により透過電子顕微鏡(TEM)観察試料のクリーニング装置として開発されました。
ジェントルミルは、低エネルギーイオンガンを搭載し、集束イオンビーム装置(FIB)や従来のイオンミリングで作製したTEM試料に低エネルギーイオンビーム照射することで今までにないクリーンな最終仕上を実現しました。

化合物半導体、LED等、先端材料のTEM試料作製に不可欠なFIBですが、ダメージ層、再付着等の像質を劣化させる問題を抱えており、研究・開発担当者の悩みの種になっております。
これらの問題はジェントルミルで試料をクリーニングすることで解決できます。



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